“目标样品C面,最小区域直径80nm,轰击沉积角2theta!”为啥符号我打不出来?
“入射电流10mAc㎡,入射源离子浓度大于10^14atomsc㎡!”
“高能量Ar+离子束已准备就绪,能量9659.6电子伏特!”
随着几道流程的完成,林立的镜片中闪过一片果决的白光。
只见他打手一挥,下令道:
“仪器开轰!”
咻——哒——
只见一束Ar+组成的高能离子束飞快的轰击到了妖兽晶的目标面上,高能量的轰击打出了极其微量的二次离子。
随后这些二次离子被提取到无场漂移管中,沿既定飞行路径到达了离子检测器里。
正常情况下,静态SIMS的溅射剥离速度一般是每小时0.1纳米。
但在如今实验室不计成本的支出下,林立采用了动态SIMS模式,妖兽晶表层二次离子的剥离速度达到了每小时100微米。
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